Трубчатые печи AZ могут иметь восемь зон нагрева, регулирование температуры в которых выполняется независимо друг от друга. Для каждой из них, по длине зоны нагрева, создается собственный температурный профиль. Использование восьми зон нагрева, качественной теплоизоляции и симметрично расположенных нагревательных элементов вдоль рабочей камеры обеспечивает уровень однородности температуры выше ±5 K. Восемь зон нагрева и эффективная теплоизоляция в передней и задней части печи обеспечивают высокую однородность температуры по всей длине рабочей камеры. Основным преимуществом печей с восемью зонами нагрева является увеличение зоны однородной температуры. Другим преимуществом являются тщательно разработанные температурные профили, позволяющие пользователю самостоятельно регулировать линейное увеличение температуры, пиковые значения температуры и другие параметры. Одной из рекомендуемых областей применения трубчатых печей серии AZ является осаждение из паровой фазы. Данные печи позволяют установить температурный градиент, обеспечивающий испарение материала на одном конце рабочей трубки (с высокой температурой) и сублимацию пара на другом конце (с низкой температурой). Регулирование температуры выполняется независимо для каждой зоны нагрева.
Вид изнутри