Вакуумная трубчатая печь относится к группе вакуумных печей с горячими стенками, в которых трубка нагревается снаружи нагревательными элементами, находящимися под воздействием окружающего воздуха. В зависимости от материала и размера трубки максимальная температура в вакууме варьируется. На концах рабочей трубки необходимо установить вакуумные фланцы. В зависимости от материала и размера некоторые вакуумные трубчатые печи требуют водяного охлаждения, некоторые работают без охлаждения водой.
Конечно, вакуум сам по себе является возможной атмосферой для вакуумных печей. В зависимости от области применения уровень вакуума может быть низким, средним, высоким или даже сверхвысоким. Кроме того, поскольку вакуумная печь позволяет полностью удалить воздушную атмосферу, также можно работать с различными газами или смесями, такими как аргон, азот, водород, окись углерода, гелий и т. д. Для неметаллических рабочих трубок становятся возможными даже агрессивные газы, такие как аммиак или силан.
Комбинация максимального размера и температуры, необходимых для процесса, определяет, достаточно ли вакуумной трубчатой печи или требуется вакуумная камерная печь с холодными стенками. При использовании вакуума при температуре 1450 °C максимальный внутренний диаметр рабочей трубки ограничен 88 мм. В этом случае рабочая трубка является расходным материалом с ограниченным сроком службы. Для больших размеров или более высоких температур требуется вакуумная камерная печь.
